SrTiO3 substraat
Kirjeldus
SrTiO3 monokristallil on perovskiitstruktuuri materjalist hea võrestruktuur.See on suurepärane substraatmaterjal HTS-i ja enamiku oksiidkilede epitaksiliseks kasvuks.Seda on laialdaselt kasutatud kõrge temperatuuriga ülijuhtivate õhukeste kilede uurimisel.Seda kasutatakse laialdaselt ka spetsiaalsetes optilistes akendes ja kvaliteetsetes pihustusobjektides.
Omadused
Orientatsioon: (100) +/-0,5 kraadi
Serva orientatsiooni näit: <001> +/-2 kraadi on saadaval lisatasu eest
Poleerimine: üks külg EPI on poleeritud CMP-tehnoloogiaga, vähema pinnaaluse võrekahjustusega.
Pakend: pakitud 100 klassi kilekotti 1000 klassi puhta ruumi alla.
| Kristalli struktuur | Kuubik, a = 3,905 A |
| Kasvumeetod | Vernuil |
| Tihedus (g/cm).3） | 5.175 |
| Sulamistemperatuur (℃) | 2080 |
| Kõvadus (Mho) | 6 |
| Soojuspaisumine | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Dielektriline konstant | ~ 300 |
| Loss Tangent 10 GHz juures | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Värv ja välimus | Läbipaistev (mõnikord kergelt pruun olenevalt lõõmutamise tingimustest).Kaksikud puuduvad |
| Keemiline stabiilsus | Vees lahustumatu |
SrTiO3 substraadi määratlus
SrTiO3 substraat viitab strontsiumtitanaadi (SrTiO3) ühendist valmistatud kristallilisele substraadile.SrTiO3 on kuupmeetrilise kristallstruktuuriga perovskiitmaterjal, mida iseloomustab kõrge dielektriline konstant, kõrge termiline stabiilsus ja hea võre sobivus paljude teiste materjalidega.
SrTiO3 substraate kasutatakse laialdaselt õhukese kile sadestamise ja epitaksiaalse kasvu valdkonnas.SrTiO3 kuubikujuline struktuur võimaldab kasvatada kvaliteetseid õhukesi kilesid, millel on suurepärane kristalne kvaliteet ja madal defektide tihedus.See muudab SrTiO3 substraadid väga sobivaks epitaksiaalsete kilede ja heterostruktuuride kasvatamiseks erinevateks rakendusteks.
SrTiO3 kõrge dielektriline konstant muudab selle sobivaks selliste rakenduste jaoks nagu kondensaatorid, mäluseadmed ja ferroelektrilised õhukesed kiled.Selle termiline stabiilsus muudab selle sobivaks kasutamiseks kõrgetel temperatuuridel.
Lisaks muudavad SrTiO3 mitmekesised omadused, nagu selle metalliline juhtivus madalatel temperatuuridel ja ülijuhtiva oleku esilekutsumise võimalus, kasulikuks kondenseerunud aine füüsika uuringutes ning elektrooniliste ja optoelektrooniliste seadmete väljatöötamisel.
Kokkuvõtlikult võib öelda, et SrTiO3 substraadid on strontsiumtitanaadist valmistatud kristalsed substraadid, mida nende kõrge dielektrilise konstandi, termilise stabiilsuse ja heade võre sobitusomaduste tõttu kasutatakse tavaliselt õhukese kile sadestamise, epitaksiaalse kasvu ning paljude elektrooniliste ja optoelektrooniliste rakenduste puhul.
