MgF2 substraat
Kirjeldus
MgF2 kasutatakse läätse, prismana ja aknana lainepikkustel 110 nm kuni 7,5 μm.See on kõige sobivam materjal ArF Excimer Laseri aknaks oma hea läbilaskvuse tõttu 193nm juures.See on efektiivne ka optilise polarisaatorina ultraviolettkiirguse piirkonnas.
Omadused
| Tihedus (g/cm).3） | 3.18 |
| Sulamistemperatuur (℃) | 1255 |
| Soojusjuhtivus | 0,3 Wm-1K-1 300K juures |
| Soojuspaisumine | 13,7 x 10-6 /℃ paralleelne c-telg 8,9 x 10-6 /℃ risti c-teljega |
| Knoopi kõvadus | 415 100 g taandega (kg/mm2) |
| Erisoojusvõimsus | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektriline konstant | 1,87 1MHz paralleelse c-teljega 1,45 1 MHz juures risti c-teljega |
| Noorte moodul (E) | 138,5 GPa |
| Nihkemoodul (G) | 54,66 GPa |
| Hulgimoodul (K) | 101,32 GPa |
| Elastne koefitsient | C11 = 164;C12=53;C44 = 33,7 C13 = 63;C66=96 |
| Näiv elastsuspiir | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poissoni suhe | 0,276 |
MgF2 substraadi määratlus
MgF2 substraat viitab magneesiumfluoriidi (MgF2) kristallmaterjalist valmistatud substraadile.MgF2 on anorgaaniline ühend, mis koosneb magneesiumi (Mg) ja fluori (F) elementidest.
MgF2 substraatidel on mitmeid märkimisväärseid omadusi, mis muudavad need populaarseks mitmesugustes rakendustes, eriti optika ja õhukese kile sadestamise valdkonnas:
1. Kõrge läbipaistvus: MgF2 on suurepärase läbipaistvusega elektromagnetilise spektri ultraviolettkiirguse (UV), nähtava ja infrapuna (IR) piirkondades.Sellel on lai ülekandevahemik ultraviolettkiirgusest umbes 115 nm kuni infrapunani umbes 7500 nm.
2. Madal murdumisnäitaja: MgF2-l on suhteliselt madal murdumisnäitaja, mis teeb sellest ideaalse materjali AR-katete ja optika jaoks, kuna minimeerib soovimatuid peegeldusi ja parandab valguse läbilaskvust.
3. Madal neeldumine: MgF2 neeldumine ultraviolett- ja nähtavates spektripiirkondades on madal.See omadus muudab selle kasulikuks rakendustes, mis nõuavad suurt optilist selgust, nagu läätsed, prismad ja aknad ultraviolett- või nähtavate kiirte jaoks.
4. Keemiline stabiilsus: MgF2 on keemiliselt stabiilne, vastupidav paljudele kemikaalidele ning säilitab oma optilised ja füüsikalised omadused mitmesugustes keskkonnatingimustes.
5. Termiline stabiilsus: MgF2 on kõrge sulamistemperatuuriga ja talub kõrgeid töötemperatuure ilma olulise lagunemiseta.
MgF2 substraate kasutatakse tavaliselt optilistes katetes, õhukese kile sadestamise protsessides ning optilistes akendes või läätsedes erinevates seadmetes ja süsteemides.Neid võib kasutada ka puhverkihtidena või mallidena muude õhukeste kilede, näiteks pooljuhtmaterjalide või metallkatete kasvatamiseks.
Neid substraate toodetakse tavaliselt selliste tehnikatega nagu aurustamine-sadestamine või füüsikalised aurutranspordi meetodid, kus MgF2 materjal sadestatakse sobivale substraadimaterjalile või kasvatatakse monokristallina.Olenevalt kasutusnõuetest võivad substraadid olla vahvlite, plaatide või kohandatud kujuga.
